YAMADA山田灯罩部分（仅限螺旋桨风扇型）
高亮度卤素灯和LED光源是宏观观察照明设备，用于在加工阶段（整个工艺流程中最耗费人力的环节）检测半导体晶圆和液晶基板最终成品表面上的各种缺陷，例如异物、划痕、抛光不均匀、雾化和滑移等。其照度是日光的四倍以上，因此能够检测到通常会被忽略的微小缺陷。
应用实例：
晶圆和玻璃基板的检测。

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